ICS 13.030.20 CCS Z 05 HG 中华人民共和国化工行业标准 HG/T 5962—2021 硅片切割废液处理处置方法 Treatment and disposal method for waste liquid of silicon cutting 2022-02-01实施 2021-08-21发布 中华人民共和国工业和信息化部发布 HG/T5962—2021 前 言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的 规定起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国石油和化学工业联合会提出。 本文件由全国废弃化学品处置标准化技术委员会（SAC/TC294）归口。 本文件起草单位：嘉兴市环科环保新材料科技有限公司、中海油天津化工研究设计院有限公司 广州市环境保护技术设备有限公司、浙江水知音环保科技有限公司、渤海宏（连云港）清洁技术有 限公司。 本文件主要起草人：金月祥、王彦、茹伟原、阮忠强、王立林、金佳媛、陆思伟、倪康、朱鸿 宇、王莹、黄正浩。 I HG/T5962—2021 硅片切割废液处理处置方法 1范围 本文件规定了硅片切割废液（浆）的组成、处理处置方法、环保排放要求。 本文件适用于硅片切割生产线产生的切割废液（浆）的处理处置。 2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文 件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适 用于本文件。 GB5085.7 危险废物鉴别标准通则 GB8978污水综合排放标准 GB16297 大气污染物排放标准 GB18599 一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准 3术语定义 本文件没有需要界定的术语和定义。 硅片切割废液的组成 硅片切割废液（浆）的主要成分见表1。 表1 含 量 成分 砂线配合砂浆切割 金刚线硅片切割 离线废浆料 在线废浆料 聚乙二醇w/% 45~47 19~21 碳化硅w/% 44~46 31~33 一 硅粉w/% 47~49 5~7 46~48 水w/% 50~52 2~4 0.9~1.1 金属杂质w/% 0. 9~1.1 1