说明:收录25万 73个行业的国家标准 支持批量下载
文库搜索
切换导航
文件分类
频道
联系我们
问题反馈
文件分类
联系我们
问题反馈
批量下载
书 书 书犐犆犛 01 . 040 . 39 犖 10 中华人民共和国国家标准 犌犅 / 犜 38614 — 2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法 犕犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉狀犪狀狅狆狅狊犻狋犻狅狀犻狀犵犪狀犱狊犮犪狀狀犻狀犵狊狋犪犵犲犫犪狊犲犱狅狀犳犾犲狓狌狉犲犺犻狀犵犲犿犲犮犺犪狀犻狊犿犪狀犱狆犻犲狕狅犪犮狋狌犪狋狅狉 2020 04 28 发布 2020 11 01 实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 书 书 书目 次 前言 Ⅲ ………………………………………………………………………………………………………… 1 范围 1 ……………………………………………………………………………………………………… 2 规范性引用文件 1 ………………………………………………………………………………………… 3 术语和定义 1 ……………………………………………………………………………………………… 4 测量条件 1 ………………………………………………………………………………………………… 5 测量仪器 1 ………………………………………………………………………………………………… 6 测量方法 1 ………………………………………………………………………………………………… 6.1 轴向行程 1 …………………………………………………………………………………………… 6.2 准确度 2 ……………………………………………………………………………………………… 6.3 单向重复定位精度 2 ………………………………………………………………………………… 6.4 双向重复定位精度 3 ………………………………………………………………………………… 6.5 迟滞误差 4 …………………………………………………………………………………………… 6.6 线性度 5 ……………………………………………………………………………………………… 6.7 位移分辨力 6 ………………………………………………………………………………………… 6.8 角摆偏差 6 …………………………………………………………………………………………… 6.9 直线度 8 ……………………………………………………………………………………………… 6.10 平面度 9 ……………………………………………………………………………………………… 6.11 正交误差 10 ………………………………………………………………………………………… Ⅰ 犌犅 / 犜 38614 — 2020 前 言 本标准按照 GB / T1.1 — 2009 给出的规则起草 。 本标准由全国电子测量仪器标准化技术委员会 ( SAC / TC153 ) 提出并归口 。 本标准起草单位 : 沈阳建筑大学 、 三英精控 ( 天津 ) 仪器设备有限公司 、 广东工业大学 、 中国计量科学研究院 、 苏州昊通仪器科技有限公司 、 沈阳理工大学 。 本标准主要起草人 : 须颖 、 戴敬 、 邵萌 、 安冬 、 施玉书 、 贾静 、 戴超 、 文杰 、 石怀涛 。 Ⅲ 犌犅 / 犜 38614 — 2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法 1 范围 本标准规定了基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台 ( 以下简称为平台 ) 的测量条件 、 测量系统和测量方法 。 本标准适用于平台的研究 、 设计 、 生产 、 检测及使用 。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。 凡是注日期的引用文件 , 仅注日期的版本适用于本文件 。 凡是不注日期的引用文件 , 其最新版本 ( 包括所有的修改单 ) 适用于本文件 。 GB / T11336 ─ 2004 直线度误差检测 GB / T38616 — 2020 纳米定位与扫描平台术语 3 术语和定义 GB / T38616 — 2020 界定的术语和定义适用于本文件 。 4 测量条件 平台的测量应满足如下条件 : a ) 测量场地应无影响测量精度的灰尘 、 振动 、 气流扰动和较强磁场 ; b ) 测量时的环境温度为 ( 20±1 ) ℃ , 其变化应不大于 0.5℃ / h ; c ) 测量时的环境相对湿度为 ( 50±5 ) % ; d ) 测量前应确认平台无影响测量正确性实施和测量结果的外观缺陷 ; e ) 测量时平台处于正常工作状态 。 5 测量仪器 本标准中推荐使用激光干涉仪 ( 以下简称干涉仪 ), 角摆偏差也可使用自准直仪 , 测量仪器精度应满足测量要求 。 6 测量方法 6 . 1 轴向行程 6 . 1 . 1 测量步骤 将干涉仪严格对准平台 , 按照以下步骤进行轴向行程测量 : 1 犌犅 / 犜 38614 — 2020
GB-T 38614-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法
文档预览
中文文档
15 页
50 下载
1000 浏览
0 评论
309 收藏
3.0分
赞助2元下载(无需注册)
温馨提示:本文档共15页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
下载文档到电脑,方便使用
赞助2元下载
本文档由 人生无常 于
2025-02-19 13:17:09
上传分享
举报
下载
原文档
(1.6 MB)
分享
友情链接
T-CAME 43—2022 医用后勤运营管理评价标准.pdf
T-NBQLX 002—2021 智能网联汽车终端和零部件信息安全通用测试规范.pdf
GB-T 32737-2016 土壤硝态氮的测定 紫外分光光度法.pdf
GB-T 37955-2019 信息安全技术 数控网络安全技术要求.pdf
信息安全策略.pdf
GB-T 26766-2019 城市公共汽电车车载智能终端.pdf
GB-T 32932-2016 留学中介服务规范.pdf
GB-T 28517-2012 网络安全事件描述和交换格式.pdf
TTAF 180.1—2023 小程序个人信息保护规范 第1部分:申请授权行为.pdf
QX-T 210-2013 城市景观照明设施防雷技术规范.pdf
T-CES 160—2022 数字孪生变电站智能传感器接入技术规范.pdf
DB13-T 5394-2021 冶金企业煤气管网安全管理规范 河北省.pdf
T-CGMA 100.001-2016 闭式冷却塔.pdf
GB-T 32045-2015 节能量测量和验证实施指南.pdf
GB-T 2440-2017 尿素.pdf
GB-T 23696-2017 证券及相关金融工具 交易所和市场识别码.pdf
GB-T 41871-2022 汽车数据处理安全要求.pdf
DB61-T 1665-2023 社区老年人日间照料中心管理规范 陕西省.pdf
T-ZZB 1845—2020 散热器恒温控制阀.pdf
GB T 42446-2023 信息安全技术 网络安全从业人员能力基本要求.pdf
交流群
-->
1
/
3
15
评价文档
赞助2元 点击下载(1.6 MB)
回到顶部
×
微信扫码支付
2
元 自动下载
官方客服微信:siduwenku
支付 完成后 如未跳转 点击这里 下载
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们
微信(点击查看客服)
,我们将及时删除相关资源。