ICS 31.080.99 GB CCS L 59 中华人民共和国国家标准 GB/T 44839—2024/IEC 62047-10:2011 微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法 Micro-electromechanical systems （ MEMS ） technology- Micro-pillar compression test for MEMS materials (IEC 62047-10: 2011, Semiconductor devices—Micro-electromechanical devicesPart 1O: Micro-pillar compression test for MEMS materials, IDT) 2024-10-26 发布 2025-02-01实施国家市场监督管理总局发布国家标准化管理委员会 GB/T 44839—2024/IEC 62047-10:2011 目次前言范围 1 规范性引用文件 2 术语和定义 3 符号和名称 4 5 试件 5.1 总体要求 5.2 试件形状 5.3 尺寸测量 6 试验方法和测试仪器 6.1 测试原理 6.2 试验仪器 6.3 测试步骤 6.4 试验环境测试报告 7 （资料性）附录A 利用有限元法进行误差估计 A.1 误差来源 A.2 有限元模型 A.3 分析结果参考文献

GB-T 44839-2024 微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法

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