ICS 71.040.40 G 04 中华人民共和国国家标准 GB/T 36504—2018 印刷线路板表面污染物分析 俄歇电子能谱 Guide for the analysis of the printed circuit board surface contamination- Auger electron spectroscopy 2019-06-01实施 2018-07-13发布 国家市场监督管理总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T36504—2018 目 次 前言 引言 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语定义 方法概述 4 5 样品制备与安装 6 分析步骤 测量报告 参考文献. GB/T36504—2018 前言 本标准按照GB/T1.12009给出的规则起草， 本标准由全国微束分析标准化技术委员会（SAC/TC38）提出并归口。 本标准起草单位：清华大学、南京信息工程大学。 本标准主要起草人：姚文清、杨立平、腾飞、徐同广、严楷、李展平、王雅君、陈圣、朱永法。 GB/T36504—2018 引言 随着高科技的发展，需要提高电子产品的功能和性能，高度集成化的工艺要求使印刷线路板越来越 向微小精细的方向发展，对于器件表面工艺技术有愈加苛刻的要求。由此，印刷线路板表面污染物分析 至关重要。 俄歇电子能谱（AES）具有很高的表面灵敏度，其检测深度约为3～10o原子单层（0.4nm～5nm）， 检测极限为10-原子浓度，空间分辨率可达到4nm，可用于分析除氢和氢以外（Li-U）元素的定性、定 量分析，广泛用于材料的表面化学分析。 本标准规定了一种高分辨率俄歇电子能谱仪测量印刷线路板表面污染物的方法，为印刷线路板的 失效分析提供了参考。 II GB/T36504—2018 印刷线路板表面污染物分析 俄歇电子能谱 1范围 本标准规定了一种准确测量印刷线路板PCB（printedcircuitboard）镀金手指表面污染物的方 法一俄歇电子能谱法（AES）。 本标准适用于具有一定导电性固体表面纳米尺度元素分布的准确测量。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件 GB/T22461—2008表面化学分析词汇 GB/T265332011 俄歇电子能谱分析方法通则 GB/T29731—2013 表面化学分析 厂高分辨俄歇电子能谱仪元素和化学态分析用能量标校准 GB/T29557—2013 表面化学分析 深度剖析溅射深度测量 GB/T30815—2014 表面化学分析 分析样品的制备和安装方法指南 GB/T32565—2016 表面化学分析 俄歇电子能谱（AES)数据记录与报告的规范要求 GB/T32998—2016 表面化学分析 俄歇电子能谱荷电控制与校正方法报告的规范要求 3 术语和定义 GB/T22461一2008界定的术语和定义适用于本文件。 4方法概述 4.1电离截面 电离截面是指原子中一个已被电子占据的壳层中将产生空位过程的截面。是一束电子轰击样品 时，具有能量的原电子束使原子内壳层电离并形成空位的几率。 根据半经验方法计算，电离截面可以用式（1）来进行计算。 6.51×10-14awbw[1, 4U Qw= In .(1) Ew LU 1.65+2.35e 式中： Qw 原子的电离截面，单位为平方厘米（cm²）； Ew -W能级电子的电离能，单位为电子伏特（eV）； U 一激发源能量与能级电离能之比，Ep/Ew； Ep 一入射电子（初级电子）的能量，单位为电子伏特（eV）； 一常数。 aw,bw 电离截面Qw是激发源能量与能级电离能比U的函数。当U为2.7时，电离截面可以达到最大值 1